日本荏原OZC高濃度潔凈臭氧發(fā)生器

臭氧發(fā)生器采用一種新的放電原理，通過(guò)無(wú)聲和表面放電方法產(chǎn)生高濃度臭氧。

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

OZC型是一種臭氧發(fā)生器，能夠穩(wěn)定地產(chǎn)生大量高濃度臭氧（10vol%或更高）。通過(guò)采用高度耐臭氧和等離子體的材料，實(shí)現(xiàn)清潔的臭氧氣體和較長(zhǎng)的產(chǎn)品壽命。通過(guò)大幅增加單位面積產(chǎn)生的臭氧量來(lái)實(shí)現(xiàn)占地面積小的臭氧發(fā)生器。標(biāo)配臭氧泄漏傳感器等安全功能，以及在發(fā)生錯(cuò)誤或緊急情況時(shí)安全停止設(shè)備的安全電路。

特征

在超高濃度下穩(wěn)定地產(chǎn)生大量臭氧。

通過(guò)采用陶瓷涂層電極和藍(lán)寶石電介質(zhì)實(shí)現(xiàn)超潔凈臭氧。

由于每單位排放面積產(chǎn)生大量臭氧，因此減少了占地面積。

標(biāo)配臭氧檢漏儀。

符合 S2-93 標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計(jì)。提供 CE 型號(hào)。

基本操作：氧氣通過(guò)溝槽放電器（電場(chǎng)），從而使氧分子電離反應(yīng)并產(chǎn)生臭氧氣體。然后，客戶可以根據(jù)他們的應(yīng)用獲取臭氧氣體和用途。

應(yīng)用

基于SACVD TEOS的SiO2沉積

干式光刻膠灰化

濺射

干洗和濕洗

表面氧化

氧化層的退火

超純水消毒