SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器

SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

SCI-552基于軟硬件特點(diǎn)，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個(gè)系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器并提供兩條獨(dú)立的臭氧輸出渠道。

SCI-552型臭氧發(fā)生器控制器參數(shù)

顯示：2 行 x 40 字母、數(shù)字,真空熒光

分辨率：0.01% w/w

周期 ：不間斷測量,每2秒或0.5 Hz刷新

數(shù)字I/O ：RS-232 C, 雙向

裝置I/O：發(fā)生器支持 能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器，工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 引出線

質(zhì)量流量計(jì)控制： 4 - DB-9 連接體，支持四臺(tái)質(zhì)量流量 計(jì)

背壓控制器：2 - DB-15 連接體，支持兩臺(tái)電子背 壓調(diào)節(jié)器

臭氧發(fā)生器：2 - 10 針I(yè)DC，支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器

EV閥：2 - 2 針連接體 - 24 VDC

冷卻器：1 - DB-15 冷卻器連接體

客戶系統(tǒng)I/O聯(lián)鎖：1- 系統(tǒng)硬件聯(lián)鎖

                              1 - 通訊聯(lián)鎖

                              (可用戶配置)

                             1 - 軟件聯(lián)鎖 (背壓)

串行數(shù)字 ：RE-232, DB-25 (Modbus標(biāo)準(zhǔn) -可選其他選項(xiàng))

AC電源：90到240VAC, 50/60 Hz

典型功率： 低于225 W 

尺寸 ：(寬 x 高 x 長) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)

重量：10.9 磅 (4.94 千克)

環(huán)境：只為室內(nèi)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

運(yùn)行溫度： 5 - 35?C

相對(duì)濕度：80%, 無冷凝

保修 ：1 年

認(rèn)證：CE

應(yīng)用

 化學(xué)氣相沉積(CVD)

原子層沉積(ALD)

氧化物生長

表面處理

灰化

粒子清潔

光刻膠去除

其他